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产品详细
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点击次数:1124  更新时间:2013-03-22   【打印此页】  【关闭

中 文 名:三氟化氮


英 文 名:
Nitrogen trifluoride


式:NF3


外观状态
:在常温常压下,三氟化氮为无色、无臭、性质稳定的液化气体。


包装说明:
              47L专用钢瓶,22kg/;40L专用钢瓶,20kg/;8L专用钢
          瓶
,3.4kg/;钢瓶标准:DOT-3AA, GB5099;阀门:
         
CGA330CGA640


产品纯度:
99.99%~99.995%


稳 定 性:
稳定


   途:

    三氟化氮是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在
h2-O2 F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。 

另外三氟化氮也可用作火箭推进剂、氟化剂、电子气、等离子干刻、掺杂、激光、光导纤维。

 

物理化学性质:


    分子量:    71.002

    熔点(101.325kPa)    -206.79℃

    沸点(101.325kPa)    -129.0℃

    液体密度(-129℃,101.325kPa)  1540kg/m3

    气体密度(20℃,101.325kPa)    2.96kg/m3

    相对密度(气体,空气=120℃,101.325kPa)2.46

    比容(21.1℃,101.325kPa)0.3371m3/kg

    气液容积比(15℃,100kPa)    520L/L

    临界温度:    -39.3℃

    临界压力:4530kPa

    临界密度:    522 kg/m3

    临界压缩系数:0.317

    熔化热(-206.79℃,101.325kPa)  5.61kJ/kg

    气化热(-129℃,101.325kPa)    163.29kJ/kg

    比热容(气体,25℃,101.325kPa)Cp=751.68J/(kg·K)

    蒸气压(-171)    1.333kPa

    (-100)470kPa

    (-60)    2200kPa

    粘度(气体,25℃,101.325kPa)0.0183mPa·S

    折射率(气体,25)    1.0004416

 
注意事项:

 

如遇有NF3气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止NF3气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。NF3气瓶应储存于阴凉、通风仓库内,仓库温度不宜超过30NF3气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。NF3气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。NF3气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将NF3气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。

 

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